氟材料在半導體·液晶製造用途領域中的應用

多彩的氟化學製品支撐著半導體和液晶的製造業

 

在不容許有一點點雜質的世界中,高純度耐藥品性能優異的氟樹脂、氟橡膠、工程塑料等高品質的氟化學製品正在發揮著重要的作用。

用途應用

藥液管道材料

藥液管道材料
藥液用的管道材料常使用純度高、耐藥品性能好的氟樹脂NEOFLON PFA
應用產品:
性能要求:
耐藥品性

排氣設備

排氣設備
排氣用的通風裝置,常使用阻燃性和耐藥品性能優越的氟塗料。
應用產品:
性能要求:
耐藥品性·阻燃性

藥液儲罐

藥液儲罐
為了維持儲罐內的藥品安全且保證其純度,使用了高純度耐藥品性優異的氟樹脂進行內襯處理。另外,儲罐的外部塗有Zeffle熱反射隔熱塗料,延長儲罐的使用周期。
應用產品:
性能要求:
耐藥品性(內襯膜)耐候性(ZEFFLE 隔熱塗料)

腐蝕材料

腐蝕材料
在高潔淨的製造工程中,使用高純度的蝕刻劑
應用產品:

密封材

密封材
半導體密封材料,採用高純度耐藥品性能優異的DUPRA

過濾器

過濾器
氟樹脂用於過濾材料作成過濾器具有低壓損、高效率、優異的耐藥品性。用於無塵室。

軟管/接頭/閥門/過濾器

軟管/接頭/閥門/過濾器
半導體製造裝置內的軟管、接頭、閥門、過濾器等大多數的零部件是使用耐藥品性良好的氟樹脂NEOFLON PFA。
應用產品:
性能要求:
耐藥品性

精密化學(定制合成)

可以按照客戶的設計要求定制合成含氟的ARC(防止反射)材料、絕緣膜材料。
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